Контрола чистоће од месинганих фитинга у полуводичким специјалним гасним системима
Увод у полуводичке специјалне гасне системе
Процеси производње полуводича захтевају ултра чистом, високо контролисаним окружењима.
Специјални системи за доставу гаса играју критичну улогу у јеткању, таложењу, допингу и корацима чишћења.
Гасови попут Силанеа, амонијака, водоникосека и азота трифлуорида захтевају транспортне стазе високог чистоће.
Брасински фитинги, иако не увек први избор, понекад се примењују у средњим линијама или системима за подршку.
Одржавањехемијска чистоћа и структурни интегритетод месинга је од виталног значаја за избегавање контаминације.
Значај материјалне чистоће у се полуводичким апликацијама
Полуводичи су изузетно осетљиви на нечистоће молекуларне на нивоу.
Чак и дијелови загађења (ППБ) контаминација цевовода или фитинга могу довести до недостатка приноса или неуспеха уређаја.
Одељење, корозија или површинске реакције у гасним линијама морају бити чврсто контролисане.
Ово чини избор материјала и управљање чистоћим централним до дизајна гасног система.
Месинг, са правилном завршном и квалитетном контролом, може да испуни ове стандарде у некритичним гасовима.
Састав и забринутост за месинга
Стандардни месинг је легура бакра и цинка, понекад садрже олово или лименку.
Нечистоће попут сумпора, фосфора или заосталих уља могу угрозити нивое чистоће.
Месинга високог олова строго се избегава у апликацијама за чистоћом или полуводичу.
СамоНиско олово, отпорно на дезинцификација (ДЗР)месинг треба размотрити за такво окружење.
Произвођачи морају даватиМатеријални сертификатиПотврђивање усаглашености са стандардима полу, АСТМ или РОХС-а.
Површински завршени и електрополирани захтеви
Унутрашња површинска завршна опрема за месинга у великој мери утиче на чистоћу гасног система.
Грубо или порозне површине забране влаге, угљоводонике и честице, узрокујући дугорочну контаминацију.
Да се супротставило томе, арматура су честоелектрополиранДа би се постигла глатка, пасивана унутрашња површина.
Циљана површинска храпавост (РА) је обично мања од0.2 µmза линије за дистрибуцију гаса.
Пост-полирање, фитинги пролазе чишћењеУлтраПуре растварачипраћено усисавањем и прочишћавањем азота.
Контрола честица и амбалажа за чистоћом
Месингани прикључци за полуводичке гасне системе морају да се сусрећу са строгомСпецификације броја честица.
Било која лабавих честица или металних пахуљица могу бити погубне за вафле осетљиве на гас.
Да се то реши, фитинги подвргавају велику чистоћуУлтразвучно чишћењекористећи стандарде за чишћење воде и класе 100.
Једном очишћено, опрема судвострукиу амбалажи за чистоћом да се спречи поновно инцилација.
Етикете често укључују лот сљедивост, информације о чишћењу и индикатора контроле влаге.
Пасивација и премази за хемијску стабилност
Будући да је месинг реактивнији од нехрђајућег челика, пасивизација површине је пресудна.
Методе пасивације укључују контролисану оксидацију, Цхроме-Фрее Цоацтингс илинаклоњено.
Никл или електролесси никл премази служе као преградни слој како би се спречило испирање цинка или оксидације.
Овај премаз такође повећава хемијску компатибилност са гасовима као што су ХФ или Цлф₃.
Редовни чекови за дебљине премаза и испитивање адхезије осигуравају трајност у системима под притиском.
Инспекција, сертификација и сљедивост
Камини са високим чистоћи морају проћиИнспекција на више нивоапре интеграције у гасне линије.
Испитивање укључује:
Тестирање цурења хелијума (обично<1x10⁻⁹ atm-cc/sec)
Резидуална анализа гаса (РГА)
Тестови пропадања честица микробаланције
КСРФ или ИЦП-МС за верификацију материјала
Свака уградња треба да буде у потпуностиПратите са бројем лот-а, са повезанимСертификати о усаглашености (ЦОЦ).
Неки објекти захтевају ревизије трећих страна или документацију о сертификацији ИСО 14644.
Границе и алтернативе апликација
Док месинг може да задовољи критеријуме чистоће, његова употреба јеограничено на некритичке стазеу полуводичкој фабрици.
За ултра-високе гасне линије (УХП),316Л Нехрђајући челик са ВЦР или орбиталним заваривањемје пожељно.
Месингани прикључци се могу применити у издувним системима, чишћењу линија илиПроцесни системи за хлађење воде.
Када је одабрано правилно и на одговарајући начин третира, месинг пружа исплатив, стабилан раствор.
Будући напредак у технологији превлачења и чишћења може проширити услужни програм у полуводичким апликацијама.
Закључак
Контрола чистоће у месингу за полуводичке специјалне гасне системе је и сложена и битна.
Из одабира материјала на површинску завршну обраду и паковање, сваки корак утиче на квалитет гаса.
Док месинг није идеалан за апликације високог чистоће, напредна лечења и контрола квалитета могу да га одржи у одабраним зонама.
Кроз ригорозну инспекцију, пасивацију и сертификацију, ова опрема може сигурно да подрже производне окружења за производњу чипа следеће генерације.
Контактирајте ИФАН
Телефон:+86 15088288323
Е-пошта:sales24-ifan@ifangroup.com
